회사/산업 · 삼성전자 / 모든 직무
Q. ADI CD, ACI CD관련 질문
주로 결함에선 ADI CD가 ACI CD보다 더 큰가요?
2025.03.10
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답변 7
삼성전자 ADI CD, ACI CD 관련 질문 답변 삼성전자 ADI CD, ACI CD 관련 질문에 답변드리겠습니다. 두 용어 모두 반도체 제조 공정에서 발생하는 결함과 관련된 용어입니다. ADI CD (After Develop Inspection Critical Dimension) * 현상 공정 후 측정되는 회로 선폭 (Critical Dimension)을 의미합니다. * 현상 공정은 포토레지스트를 사용하여 웨이퍼에 회로 패턴을 형성하는 공정입니다. * ADI CD는 현상 공정이 제대로 수행되었는지 확인하는 중요한 지표입니다. ACI CD (After Chemical Mechanical Polishing Critical Dimension) * 화학적 기계적 연마 (Chemical Mechanical Polishing, CMP) 공정 후 측정되는 회로 선폭을 의미합니다. * CMP 공정은 웨이퍼 표면을 평탄화하는 공정입니다. * ACI CD는 CMP 공정이 제대로 수행되었는지 확인하는 중요한 지표입니다. 결함 크기 비교 일반적으로 ADI CD 결함이 ACI CD 결함보다 더 큰 경향이 있습니다. 그 이유는 다음과 같습니다. * 현상 공정: 현상 공정은 포토레지스트를 사용하여 회로 패턴을 형성하는 과정에서 다양한 변수에 의해 영향을 받을 수 있습니다. 예를 들어, 노광량, 현상액 농도, 온도 등이 영향을 미칠 수 있습니다. 이러한 변수들의 변화는 회로 패턴의 왜곡이나 변형을 일으켜 큰 결함을 유발할 수 있습니다. * CMP 공정: CMP 공정은 웨이퍼 표면을 평탄화하는 과정에서 발생하는 결함을 주로 다룹니다. 따라서, CMP 공정에서 발생하는 결함은 주로 웨이퍼 표면의 미세한 흠집이나 불균일성에 의해 발생하며, ADI CD 결함에 비해 크기가 작은 경향이 있습니다. 현직자만 아는 정보 (팁) * ADI CD와 ACI CD는 반도체 제조 공정의 수율과 성능에 직접적인 영향을 미치는 중요한 지표입니다. * 두 지표를 정확하게 측정하고 분석하는 것은 고품질의 반도체 칩을 생산하는 데 필수적입니다. * 최근 반도체 공정의 미세화가 진행됨에 따라 ADI CD와 ACI CD 측정 및 분석 기술의 중요성이 더욱 커지고 있습니다. 추가 정보 * ADI CD와 ACI CD 측정에는 다양한 측정 장비와 기술이 사용됩니다. 예를 들어, 주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope, SEM), 원자현미경 (Atomic Force Microscope, AFM) 등이 사용됩니다. * ADI CD와 ACI CD 측정 결과를 분석하여 공정 조건을 최적화하고 결함을 줄이는 것은 반도체 제조 공정의 핵심 기술 중 하나입니다. 더 궁금한 점이 있으시면 언제든지 질문해주세요! 채택바랍니다.

ADI CD와 ACI CD는 반도체 공정에서 Critical Dimension(CD)을 측정하는 두 가지 단계입니다. ADI CD는 현상(Development) 후 포토레지스트(PR)의 CD를 측정하며, ACI CD는 식각(Etch), PR 제거, 클리닝 후 하부 박막의 CD를 측정합니다. ADI CD가 ACI CD보다 더 클 수 있습니다. 이는 현상 후 PR의 상태가 식각, 클리닝 등의 후속 공정에 의해 변형될 수 있기 때문입니다. 식각 과정에서 패턴이 줄어들거나 변형될 수 있어, ACI CD는 ADI CD보다 작거나 다를 수 있습니다. 따라서, 두 값은 공정의 각 단계에서 측정되는 CD의 차이를 보여줍니다.